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PRODCTS
PL-T 桌面型真空气压
纳米压印系统
PL-S 研发型真空气压
纳米压印系统
PL-MR 研发型辊筒式
纳米压印系统
＜5nm分辨率
＜5nm分辨率
＜20nm分辨率
全程自动化
操作简单
Max. 12寸
Max. 12寸
全程自动化
＞99.5%均一性
设备简介》
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相关产品》
压印案例》
压印案例》
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＞99.5%均一性
＜紫外+热压
全程自动化
PL-T纳米压印系统是主要针对高校和实验室而设计的桌面式多功能纳米压印系统,可实现热固化、紫外固化以及热塑化功能,最大压印尺寸为4英寸。PL-T纳米压印系统采用璞璘科技核心的专利技术,可将整片压印均匀性误差控制在0.5%以内:同时该专利技术可以实现<5nm超高分辨率的图案尺寸复制及转移。PL-T纳米压印系统具备重量轻、操作方便、性能高等优势,深受广大用户的青睐。产品客户包括：南加州大学、南洋理工大学、滑铁卢大学、清华大学、上海交通大学、中科院等。
PL-RP 是璞璘科技一款采用重力辊轮滚动贴合柔性模板与衬底的辊筒式（或称为“辊压”）纳米压印系统，其最大面积可实现12英寸晶圆级压印。辊筒式压印是1998年由纳米压印技术发明人Stephen Y. Chow提出，后多作为晶圆衬底表面材料塑形为主要功能的纳米压印方式 ，现阶段市场制作光波导（AR）镜片加工大多采用的是辊筒式纳米压印方式。PL-RP 纳米压印系统具备操作，工作原理简单，可实现超大面积（1.3*1.1m2）的压印工作；
PL-S 是璞璘科技针对桌面式真空气压纳米压印系统升级，其最大面积可实现12英寸晶圆级压印。同样具备热固化、紫外固化功能，同时可满足压印工艺全流程＜1分钟。PL-S纳米压印系统同样采用璞璘科技核心的专利技术，可将整片压印均匀性误差控制在0.5%以内，同时该专利技术可以实现<5nm超高分辨率的图案尺寸复制及转移。PL-S纳米压印系统具备小批量生产、量产前研发验证、科研平台建设等众多优势。
设备工艺视频
产品资料
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