产品中心
PRODCTS
PL-P 高精度板对板式
纳米压印系统
<500nm
调平精度
<20mm
衬底厚度
≤±2μm
平面度
12 inch.
Max.
PL-P 板对板式纳米压印系统是专门针对微透镜阵列结构压印而开发的自动压印系统。可实现8inch范围0.5μm以下的调平精度高度适配:微透镜产品
设备简介
设备视频
相关产品

PL-P纳米压印系统是一款针对柱透镜、微透镜等微米级结构的纳米压印设备,具有自动化程度高、高量产性的特点。设备采用光学与力学传感器双重调平方案,调平精度在8寸范围内≤0.5μm,可实现较高的残余层均一性。设备的对位精度≤±1μm,可选配TSM红外点光源进行硅片等不透可见光材料的双面对准。此外,设备内部自带高精度点胶机,可最大限度减少人工操作的步骤,提高压印产品的稳定性。为更好服务不同客户需求,我司可根据客户需求定制特殊功能。

工艺演示视频򠅢
设备工作视频򠅢
PL-R 双面对准辊压式
纳米压印系统
PL-A 晶圆级真空气压式
纳米压印系统
PL-SR 喷墨步进式
纳米压印系统