模板胶
刻蚀型
光学型
生物型
配套
PL-R-RM򠅹
PL-R-RM򠅹
PL-R-UPM 工作模板胶
产品介绍:PRINANO 的 PL-R-UPM 是一款低表面能、含氟的紫外光固化工作模板胶,可精确复制源模板纳米结构,膜厚与杨氏模量可调,分辨率 <10 nm,透过率 >96%;配方兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程,适用于制备超疏水结构或纳米压印工作模板。

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PL-R-RM 母模板复制材料(模板胶)

PL-R-PC1000/1010/1020 耐氧刻蚀型纳米压印胶
产品介绍:PL-R-PC1000/1010/1020 系列为耐氧等离子体刻蚀型紫外纳米压印胶,压印后即可形成微纳结构,兼具 <7 nm 分辨率、200 °C 以上热稳定性及 >40∶1 氧等离子体刻蚀选择比;厚度可调,折射率 1.48–1.49,可直接作为硬掩模用于先进半导体与精密图形转移,兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。
PL-R-PC2000 耐氟/氯基刻蚀型纳米压印胶
产品介绍:PRINANO 的 PL-R-PC2000 是一款耐氟/氯基等离子刻蚀的紫外光固化纳米压印胶,压印后可形成模量 800 MPa、折射率 1.53 的硬掩膜,分辨率 <7 nm;对蓝宝石、硅、石英刻蚀选择比 1∶0.8–1∶1,可直接用于化合物半导体、铝光栅、硅透镜等精密图案转移,兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。
PL-R-UL1000/2000 传递层材料
产品介绍:PRINANO 的 PL-R-UL1000 举离层系列包含 UL1000-O(油溶)与 UL1000-W(水溶):一步旋涂即可在晶圆表面形成折射率 1.49、均匀性 <±2 nm 的牺牲薄膜;既可作为增粘层,又可作为高精度结构的传递层。完成金属蒸镀或刻蚀后,O 型用苯甲醚、W 型用水或极性溶剂即可使胶层完全溶解剥离——零残留、零损伤。材料兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。

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PL-R-DHR(1.7~1.9)复合掺杂型纳米压印胶
产品介绍:PRINANO 的 PL-R-DHR1700/1800/1900 系列是一组折射率梯度化(@589 nm,1.70→1.80→1.90)的掺杂型 UV 光固化纳米压印光学胶,压印后可形成高透明(>92 %)、低雾度(<0.02 %)的微纳结构,可直接用于 AR 衍射波导、车载 HUD 等光学元件,兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。
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PL-R-O/OP(1.3/1.5/1.6) 有机光学胶
产品介绍:PRINANO 的 PL-R-O1340 与 PL-R-O1500 是两款紫外固化光学纳米压印胶:O1340 折射率低至 1.34(@589 nm),阿贝数 71,压印后即可形成高透(>96 %)、低雾度的微纳结构,适用于 MLA、Meta Lens;O1500 折射率 1.506,阿贝数 49,同一工艺可获高分辨率图案,透光率 >98 %。二者均兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。
PL-R-LS001 低收缩纳米压印胶
产品介绍:PL-R-LS001是一款专为低形变场景设计的光固化压印树脂,抗氧阻聚,毫米级压印结构体积收缩率低至 0.5 %,特别适用于微透镜(micro-lens)、衍射光学元件(DOE)、AR 光波导等对尺寸稳定性要求高的应用。配方兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。
PL-R-B1000 低荧光紫外纳米压印胶
产品介绍:PL-R-B1000是一款专为生物医学设计的低荧光紫外纳米压印胶,压印后可在衬底上形成高精度微流道或测序微结构;折射率 1.52,透光率 97 %,雾度 <0.01 %,表面可羟基化,兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。
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PL-R-DR001 可降解紫外纳米压印胶
产品介绍:PRINANO 的 PL-R-DR001 是璞璘科技推出的“可降解”紫外纳米压印胶:旋涂/喷胶通用,压印后可形成高模量、折射率 1.52、分辨率 <10 nm 的纳米图形;工艺完成后仅需 3 min 稀酸水解即可无残留、无损伤地清洗模板及衬底,显著延长模板寿命并降低重工成本。材料兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。

PL-R-AP 增粘材料
产品介绍:PRINANO 的 PL-R-AP1000 与 PL-R-AP2000 是分子级膜厚的增粘剂:AP1000 专用于硅、石英等无机衬底,经旋涂-烘烤即可显著提升后续压印胶的均匀铺展与附着力;AP2000 在相同工艺条件下,特别针对金属-无机界面,在金属镀膜或电镀前一步施用,既可增强无机衬底与金属层的结合力,又可兼顾衬底与压印胶的粘附。两款产品兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。

PL-R-AT 防粘材料
产品介绍:PRINANO 的 PL-R-AT 是一款分子级防粘处理剂,经 80 °C 气相沉积 4 h 即可在二氧化硅等氧化物表面构筑 <2 nm膜厚、水接触角 >110° 的疏水抗粘膜,显著降低表面能,便于后续脱模;产品兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。
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PL-R-TS001 耐高温纳米压印胶
产品介绍: PRINANO PL-R-TS001 是一款耐高温纳米压印树脂,兼具卓越的抗氧阻聚与耐热性;热重分析表明,3 % 热失重温度高达 365 °C,因而尤其适合高温工况。压印后即可形成耐高温微纳结构,杨氏模量 2.5 GPa,折射率 1.49,透过率 >95 %。材料兼容市售涂布和压印设备,可直接接入现有工业制程。
纳米压印工艺开发
纳米压印设备是纳米压印工艺中关键的加工仪器,其主要具有板对板式、气压式、辊压式等不同加压方式的压印设备。此外还有紫外、热压两种不同固化方式的压印设备。
纳米压印工艺是针对不同产品及应用而呈现的一整套流程,包括压印方式选择,材料配套,最终均需服务于最终产品及应用。通常被称为“knowhow”。
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其他产品
纳米压印技术闭环包括纳米压印设备、材料、工艺等诸多环节,璞璘科技不仅仅在设备端有着多年的积累,在材料及工艺的积累实践超过二十余年。